在电子陶瓷封装中,陶瓷基板除了为电路和芯片提供结构支撑和电气互连,还必须为其提供良好的热处理以确保正常工作。

图源自日本丸和官网

陶瓷基板主要有平面陶瓷基板及多层陶瓷基板。陶瓷基板按照工艺分为DPC、DBC、AMB、LTCC、HTCC等基板。目前,国内常用陶瓷基板材料主要为Al2O3、AlN和Si3N4。Al2O3陶瓷基板主要采用DBC工艺,AlN陶瓷基板主要采用DBC和AMB工艺,Si3N4陶瓷基板更多采用AMB工艺。

1、平面陶瓷基板

根据不同工艺主要分为:薄膜陶瓷基板、厚膜印刷陶瓷基板、陶瓷覆铜基板(直接键合铜(DBC)陶瓷基板、活性金属焊接陶瓷基板、直接电镀铜陶瓷基板和激光活化金属陶瓷基板等。

1.1 薄膜陶瓷基板

利用磁控溅射、真空蒸镀和电化学沉积等工艺在陶瓷基板表面形成金属层,然后通过掩膜和刻蚀等工艺形成特定的金属图形。该工艺具有工作温度低、布线精度高、金属层厚度可控以及金属陶瓷间结合强度高等优点。用于薄膜工艺的常用陶瓷基片材料主要有Al2O3、AlN和BeO等。薄膜陶瓷基板主要应用于电流小、尺寸小、散热要求高、布线精度要求高的器件封装。

氧化铝薄膜基板图源自京瓷官网

1.2 厚膜印刷陶瓷基板

采用丝网印刷工艺印刷金属布线层,广泛应用于共烧陶瓷基板的制备。由于丝网印刷工艺精度有限,印刷电路图形的精度受到限制。此外,为了降低烧结温度,提高金属层与陶瓷基片结合强度,通常在金属浆料中添加少量玻璃相,这会不可避免地降低金属布线层的电导率和热导率。因此厚膜印刷陶瓷基板仅应用于对线路精度要求不高的电子器件封装。

氧化铝厚膜基板图源自京瓷官网

1.3 陶瓷覆铜基板

是在陶瓷基片上通过不同工艺实现铜板和陶瓷基片的键合,从而获得一种兼具陶瓷和金属铜优点的复合金属陶瓷基板,同时具有优异的热性能、电性能以及易装配等特点。陶瓷覆铜板可通过刻蚀形成各种布线电路,广泛应用于功率模块封装中。陶瓷覆铜基板工艺主要有DBC法、活性金属焊接(AMB)法、直接电镀铜(DPC)法和激光活化金属(LAM)法等

1.3.1 DBC陶瓷基板

图源自台湾同欣官网

是在1000℃以上的高温条件下,在含氧的氮气中加热,使铜箔和陶瓷基板通过共晶键合的方式牢固结合在一起,其键合强度高且具有良好的导热性和热稳定性。

1.3.2 AMB陶瓷基板

图源自AMO官网

AMB是DBC工艺的进一步发展,该工艺通过含有少量稀土元素的焊料来实现陶瓷基板与铜箔的连接,其键合强度高、可靠性好。该工艺相较于DBC工艺键合温度低、易操作。

1.3.3 DPC陶瓷基板

图源自台湾同欣官网

利用激光在陶瓷基片上打孔,采用半导体工艺在陶瓷基片上沉积Cu种子层,而后通过电镀工艺填孔,增厚金属层,该工艺具有电路精度高且制备温度低的特点。此外,该工艺还可实现陶瓷基板的垂直互连从而提高封装密度。

1.3.4 LAM陶瓷基板

图源自网络

通过激光束加热活化需要金属化的陶瓷基板表面,然后通过电镀或化学镀形成金属化布线。该工艺也可应用于三维立体陶瓷。采用激光活化陶瓷技术,因而具有较高的布线精度,而且金属层与陶瓷基片结合强度高,线路层表面平整。目前主要应用于航空航天领域。

2 多层陶瓷基板

电子器件及电路向着互连密度高和应用环境多样化发展,常规的平面陶瓷基板开始面临应用的局限性,为了满足这些要求,电子陶瓷基板技术开始向着高互连密度发展。高密度互连陶瓷基片技术主要有:厚膜多层(TFM)技术、高温共烧陶瓷(HTCC)技术和低温共烧陶瓷(LTCC)技术。

2.1 TFM

在单体陶瓷基板表面上通过多次厚膜印刷和烧结工艺(或薄膜溅射与刻蚀工艺)来实现多层互连的陶瓷基板技术。该工艺通过多次印刷陶瓷浆料和金属浆料形成腔体,然而由于每次印刷陶瓷浆料厚度、印刷层数和印刷对位精度有限,陶瓷基板腔体厚度必然受到限制,该工艺适用于小体积、低互连密度且对精度要求不高的电子器件封装

图源自丸和官网

2.2 HTCC

HTCC 技术和 LTCC 技术都是多层共烧陶瓷技术, 通过在每层生瓷片上打孔、 填充金属浆料和印刷, 最后叠加在一起形成多层导体互连的基板。HTCC陶瓷基板烧结温度为1400~1500℃,其具有机械强度高、热导率高、化学性质稳定及布线密度高等优点。

图源自NGKNTK

当前HTCC领域市场占有率最高的主要是日本京瓷和NTK等公司的产品,国内发展较好的主要有中电13所、55所、43所、佳利电子、宁夏艾森达新材等。

2.3 LTCC

LTCC陶瓷基板体系有三种:微晶玻璃体系、玻璃陶瓷复合体系和非晶玻璃体系。由于金属材料电导率高、电性能优越,因此可在三维陶瓷基板结构中集成电阻、电容和电感等无源元件。

图源自京瓷官网

目前LTCC技术在高密度封装、微波/毫米波收发组件、微电子机械系统(MEMS)、多芯片组件模块(MCM)以及系统级封装系统集成(SIP)等方面应用广泛。国外主要企业有村田、京瓷、TDK、太阳诱电、博世、AVX等;国内主要有风华高科、顺络电子、中瓷电子、佳利电子、麦秸微电子、214所、宏达电子、成都宏科、研创光电等。

文章部分来源:中国电子科技集团公司第十三研究所

作者:陆琪, 刘英坤, 乔志壮, 刘林杰, 高岭;程浩,陈明祥,罗小兵等电子封装陶瓷基板

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展商名单:

展位号

公司

主营

8A01

广东鑫信智能装备有限公司

5G滤波陶瓷模具,粉末冶金模具,粉末成型压机

8A05

天通吉成机器技术有限公司

粉末成型压机

8A11

长沙建宇网印机电设备有限公司

厚膜印刷机、平面厚膜印刷机、圆管厚膜印刷机、CCD自动对位厚膜印刷机

8A11

天津中环电炉股份有限公司

排胶炉、钟罩炉、可视化热分析、烧结炉

8A19

嘉兴佳利电子有限公司

LTCC / HTCC/微波介质陶瓷元件及卫星导航组件

8A25

江苏国盛新材料有限公司

稀土氧化物及化合物

8A26

上海住荣科技有限公司

机械冲孔机、激光打孔机、丝网印刷机、叠片机、温水等静压机、生瓷片热切机、划片机、X-ray

8A27

太原忠睿合科技有限公司

冷等静压机,温等静压机,干袋式等静压机

8A33

常州普雷特印刷科技有限公司

NorCote感光胶、刮胶、太阳能刮胶、毛细水菲林

8A34

东莞金点自动化科技有限公司

高精密小冲床

8A39

田菱精密网版科技(昆山)有限公司

精密网版

8A40

江西江南新材料科技股份有限公司

电子级氧化铜粉、高纯硫酸铜、碱式碳酸铜

8A43

上海匠聚新材料有限公司

银浆、浆料

8A47

东莞市琅菱机械有限公司

研磨分散设备

8A53

合肥伊丰电子封装有限公司

封装外壳

8A54

上海网谊光电科技有限责任公司

精密不锈钢网版研发与生产, 超薄3u网版

8A57

旭化成塑料(广州)有限公司

特种工程塑料

8A67

长沙西丽纳米研磨科技有限公司

砂磨机、智能单机、全自动化研磨产线及相关配套研磨设备

8A68

中电科风华信息装备股份有限公司

LTCC/HTCC陶瓷切割和打孔样品

8A69

深圳市领创精密机械有限公司

跑台丝网印刷机

8A75

珠海诚锋电子科技有限公司

视觉外观瑕疵检测

8A77

公耀国际贸易(上海)有限公司东莞分公司

电子浆料用添加剂(分散,增稠,树脂)、硅烷偶联剂、MLCC离型膜、铜粉

8A81

合肥泰络电子装备有限公司

网带炉、钟罩炉、箱式炉、推板炉、辊道炉及配套自动化设备

8A81

合肥智热装备有限公司

钟罩炉、高温气氛箱式炉、真空气氛罐式炉、中温洁净箱式炉、热风箱式炉、热风排胶炉、废气净化炉

8A85

东莞市昶丰机械科技有限公司

陶瓷粉末密炼机、陶瓷粉末造粒机、金属粉末密炼机、金属粉末造粒机

8A91

东莞市腾科自动化设备有限公司

高速检测机,外检机,视觉CCD

8A91

东莞市宏康机械有限公司

高精度伺服粉末成型机

8A95

华领精机(浙江)有限公司

直线电机、精密主轴、超精密机床、空气静压轴承

8A99

合肥费舍罗热工装备有限公司

脱脂炉,烧银炉,烧结炉,推板炉

8A103

滨州奥诺新材料科技有限公司

96氧化铝陶瓷基板

8A104

苏州纯尔净化科技有限公司

滤芯

8A105

合肥恒力装备有限公司

HTCC高温气氛推板炉,先进陶瓷专用辊道炉,热风箱式排胶炉,先进陶瓷专用钟罩炉,真空回流焊炉,气氛网带炉,智能柔性电镀生产线,手工精密电镀通风柜

8A109

北京天耀科技有限公司

库赛姆台式电镜

8A110

深圳市艾明博电子科技有限公司

AMB覆铜板

8A111

南通浩盛汽车科技有限公司

汽车零部件

8B01

金动力智能科技(深圳)有限公司

IC测试分选机,小颗粒高速测包机

8B07

江西创科新材料科技有限公司

氮化铝陶瓷基板、99.6%氧化铝陶瓷基板和氮化硅基板

8B08

广东汇成真空科技股份有限公司

PVD真空镀膜设备

8B11

上海煊廷丝印设备有限公司

AMB陶瓷基板印刷机,全自动LTCC印刷机,MLCC印刷机,厚膜印刷机,精密填孔/挂壁印刷机

8B13

广东创芯旗智能工业有限公司

高精密电动伺服压机

8B15

株洲瑞德尔智能装备有限公司

氮化硅气压烧结炉(基板、轴承球)、碳化硅高温烧结炉(卧式、立式结构)、真空钎焊炉(陶瓷金属化)

8B16

河北高富氮化硅材料有限公司

氮化硅粉体、氮化硅基片、结构件

8B19

上海出光化学有限公司

PC聚碳酸酯、SPS间规立构聚苯乙烯、LMPP低模量聚丙烯、I-Marv加氢石油树脂

8B21

中国电子科技集团公司第四十五研究所

印刷机,填孔机,整平机,叠层机

8B25

安徽贝意克设备技术有限公司

推车炉、排胶炉、钼丝炉、热压炉

8B26

深圳市宇斯特电子有限公司

厚膜陶瓷电路

8B29

深圳市大富方圆成型技术有限公司

精密金属及塑胶产品

8B30

深圳市丁鼎陶瓷科技有限公司

陶瓷雾化芯、氧化锆陶瓷件、MIM件

8B31

株洲艾森达新材料科技有限公司

氮化铝粉体、氮化硅基板、氮化铝基板、结构件等

8B33

浙江正天新材料科技有限公司

氮化铝(AlN)、氮化硅(Si3N4)陶瓷基板

8B34

珠海汉瓷精密科技有限公司

DPC陶瓷支架、DBC陶瓷基板、陶瓷电路板

8B35

北京东方泰阳科技有限公司

流延机

8B36

上海骄成超声波技术股份有限公司

新能源电池、功率半导体、汽车线束、橡胶轮胎、塑料包装、食品裁切等行业提供超声波设备及解决方案

8B39

梅特勒托利多科技(中国)有限公司

梅特勒托利多超越系列热分析系统:DSC  TGA  TMA  DMA  FlashDSC

8B40

珠海市南洋精密组件有限公司

MIM、CIM、PIM

8B41

深圳市鼎华芯泰科技有限公司

PCB、陶瓷基板、IC载板专业制造商

8B42

泰晟新材料科技有限公司

氮化硅、氧化铝、钛酸铝、氧化锆结构件

8B43

河南联合精密材料股份有限公司

金刚石微粉、金刚石研磨液、金刚石研磨垫

8B47

合肥品炙装备科技有限公司

工业电窑炉

8B48

安徽博为光电科技有限公司

先进封装、高低温陶瓷、半导体设备

8B49

阿尔赛(苏州)无机材料有限公司

高端脱脂烧结一体炉,气氛烧结炉

8B53

湖北精圭锆业有限公司

钇稳定氧化锆粉、钇稳定氧化锆喷丸及氧化锆研磨介质

8B54

深圳市宇宸科技有限公司

PTC多层陶瓷整线设备HTCC设备LTCC设备等静压机切割机流延机裁片机填孔机印刷机叠层机等

8B63

江西晶弘新材料科技有限责任公司

DPC陶瓷封装基板

8B67

泰安巨浪电子材料有限公司

陶瓷基覆铜板,柔性电子覆铜板,陶瓷金属化

8B68

安泰天龙钨钼科技有限公司

AMG20钼板

8B69

惠州市鸿通晟自动化设备有限公司

MLCC流延机

8B70

浙江亚通新材料股份有限公司

金属粉末、钎焊粉、活性钎料、磁性材料

8B71

四川六方钰成电子科技有限公司

996氧化铝基板,生瓷带,钨浆

8B72

武汉欧双光电科技股份有限公司

激光焊接机,打标机,切割机

8B75

广州柏励司研磨介质有限公司

氧化锆珠、氮化硅珠、碳化钨珠

8B77

东莞市津通自动化设备有限公司

全自动测试编带机

8B81

深圳市奔创电子有限公司

铝基线路板制造商

8B82

苏州爱华钻石工业有限公司

CBN砂轮/金刚磨盘砂轮、钻石工具/超硬磨削优势服务

8B83

杭州九朋新材料有限责任公司

纳米二氧化钵、纳米氧化铝、纳米氧化锌、特种涂料、催化剂等、各种高端纳米材料

8B85

浙江鹏孚隆科技股份有限公司

聚醚醚酮树脂及其复合改性产品

8B89

3M中国有限公司

胶带与胶黏剂

8B95

苏州欧亦姆半导体设备科技有限公司

高速精密测试封装机

8B97

岳一科技有限公司

光学影像检测解决方案

8B98

广州先艺电子科技有限公司

AMB陶瓷覆铜载板

8B100

日华化学(中国)有限公司(大智化学庭装株式会社)

8B103

舟山市金秋机械有限公司

流延设备

8B105

江阴通利光电科技有限公司

MLCC离型膜 各类保护膜  胶带

8B109

柘城县金鑫磨料磨具有限公司

金刚石微粉

8B110

武汉宇昌激光科技有限公司

陶瓷激光切割打孔划线一体机

8C01

深圳市索恩达电子有限公司

全自动陶瓷膜检查机

8C05

东莞市微格能自动化设备有限公司

微电子LTCC低温共烧陶瓷,MLCC多层陶瓷电容,HTCC高温共烧陶瓷生产线设备和5G陶瓷射频模块生产线

8C11

重庆华银机电开发有限公司

砂磨机(0.3—1000L)、搅拌机(0.4-132kw)、智能生产线、珠珠装卸机、圆筒清洗机、非标罐体、移动缸

8C12

苏州艾福电子通讯股份有限公司

介质滤波器、介质双工器、介质合路器、介质谐振器(TEM、TE、TM)、陶瓷天线、射频标签、陶瓷波导滤波器、陶瓷腔体滤波器

8C13

合肥市鑫仓工业设备科技有限公司

激光打标机、切割机、氦质谱检漏仪

8C14

广东康荣高科新材料股份有限公司

精密陶瓷及结构件、电器陶瓷及配件、电子陶瓷(瓷壳、瓷棒、瓷管)、5G新能源陶瓷及配件

8C15

池州信安电子科技有限公司

真空浸涂机、智能烘干机、真空烧结炉

8C19

东莞市维迅机械科技有限公司

电镀设备、阳极氧化设备、清洗设备、及相关连线自动上下料设备

8C21

苏州德龙激光股份有限公司

精密激光加工设备及激光器

8C22

河南三特炉业科技有限公司

马弗炉、电阻炉、管式炉、升降炉、台车炉、工业炉、热处理加热炉系列产品

8C25

苏州红恩新材料科技有限公司

氧化铝陶瓷纤维制品

8C26

惠丰钻石股份有限公司

金刚石微粉

8C26

深圳市康柏工业陶瓷有限公司

氧化锆/氧化铝/碳化硅/氮化硅等先进结构陶瓷专业实体生产商

8C33

浙江德龙科技有限公司

薄膜陶瓷,流延机,等静压机、冲孔机、生磁带切割机、球磨机、分切机

8C39

浙江精瓷半导体有限责任公司

DPC薄膜陶瓷电路板、氧化铝DBC覆铜陶瓷封装材料、氧化铝DBC覆铜陶瓷封装材料、AMB氮化硅覆铜封装材料、陶瓷制冷片

8C40

东莞市欧凡能源科技有限公司(大米云谷)

8C41

河南龙兴钛业科技股份有限公司

二氧化钛等粉体材料

8C42

南京以太通信技术有限公司

介质陶瓷粉体、介质滤波器、介质谐振器、天线、陶瓷封装管壳、氧化铝陶瓷件

8C43

合肥高歌先进电炉装备有限公司

高温高压陶瓷专用烧结炉

8C47

西安鑫乙电子科技有限公司

流延机

8C48

广东西尼科技有限公司

视觉智能选别机

8C49

柘城县施诺德钻石科技有限公司

金刚石微粉破碎料

8C50

深圳市联特佳精密科技有限公司

超高精密模具配件

8C53

河北思瑞恩新材料科技有限公司

研磨抛光材料

8C54

金业新材料科技(昆山)有限公司

纳米级钇稳定氧化锆粉、彩色氧化锆粉及锂电行业二氧化锆粉

8C71

苏州精创光学仪器有限公司

超声波自动化设备/DBC自动缺陷检测设备/AMB陶瓷基板终检检测自动化设备

8C77

深圳市百柔新材料技术有限公司

PCB塞孔材料、PCB喷墨打印材料、PCB&PCB+导电浆料、陶瓷和玻璃基板电路、光伏材料

8C81

苏州晶玺茂机械科技有限公司

一拖二高温石墨化炉、实验型高温石墨化炉、升降炉、磷酸铁锂专用试验炉

8C82

扬州锦润网带制造有限公司

金属丝网及网带

8C95

浙江矽瓷科技有限公司

介质陶瓷材料、生瓷带

8C96

深圳市博敏电子有限公司

DPC/AMB/TFC/PCBA/特种电路板

8C98

深圳市鑫腾辉数控设备有限公司

精雕机

8C99

东莞市中微力合半导体科技有限公司

金刚石研磨垫、金刚石蜂窝垫、聚晶金刚石液

8C110

创轩(南京)激光智能科技有限公司

精密激光加工设备

8H01

德中(天津)技术发展股份有限公司

激光精密加工设备、电路板打样设备

8H05

无锡市阿特兹智能装备有限公司

喷雾干燥设备

8H05

无锡市新星源机电设备制造有限公司

单/双推板式道炉,高温单 (双)通道道炉,网带炉、真空炉

8H06

珠海粤科京华科技有限公司

96%氧化铝、99%氧化铝、氧化锆陶瓷基板、陶瓷金属化、陶瓷发热片

8H08

深圳市岗峰精密机械有限公司

高速精密冲床、高速精密自动冲床

8H11

江苏淮瓷科技有限公司

半导体集成电路陶瓷外壳

8H13

武汉赛斐尔激光技术有限公司

电子陶瓷激光划片机、电子陶瓷高速激光精密打孔机、玻璃激光精密切割机、紫外激光精密切割机

8H14

石家庄明远科技有限公司

高精密丝网版

8H19

西安航科创星电子科技有限公司

电子陶瓷材料、氧化铝陶瓷基板(LTCC\HTCC)、氮化铝陶瓷基板(AlN)、氧化铝陶瓷封装管壳(LTCC\HTCC)

8H20

深圳市聚晟源五金制品有限公司

铝外壳、精密件CNC为主、铝型材定制为主

8H21

深圳市金岷江智能装备有限公司

流延机

8H25

东莞市智达精密机械有限公司

外检机,测包封装,组装送料精密铝合金振动盘涉及电感,电阻,五金,贴片电子元件,密封圈光学镜头,半导体

8H26

上海福讯电子有限公司

精密印刷模板

8H29

惠州市芯瓷半导体有限公司

DPC陶瓷基板

8H33

苏州国科测试科技有限公司

LTCC&HTCC检测设备

8H39

成都旭瓷新材料有限公司

氮化铝、氧化铝、氮化硅陶瓷基板

8H47

太仓万信达化工材料有限公司

湿电子化学药水

8H48

湖南维尚科技有限公司

热等静压炉、氮化硅专用烧结炉、氮化硅陶瓷基板炉、氮化硅粉体烧结炉

8H49

深圳腾源盛科技有限公司

HTCC(高温共烧陶瓷)/LTCC(低温共烧陶瓷),生瓷带,粉体,浆料

8H50

深圳市鑫贵金银提炼技术有限公司

回收含金银钯铂铑锡铜等各类电子废料

8H53

广东汇京智能装备有限公司(原东莞市康搏智能装备有限公司)

纳米砂磨机、高速分散机&分散罐、研磨介质

8H54

东莞市精微新材料有限公司

银合金粉、合金粉体定制、钎焊粉体

8H57

深圳市盛鸿辉科技有限公司

PCB、FPC电镀设备

8H57

深圳市荣华安骏机电设备有限公司

电路板、五金蚀刻和LED面板等湿流程设备以及配套的周边辅助设备

8H61

上海晶材新材料科技有限公司

LTCC生瓷料带及金属导体浆料

8H67

常州速稳智能机械有限公司

压电式微小颗粒高速送料系列设备

8H69

东莞市捷大电子科技有限公司

LED散热器、IGBT散热器、电力电子散热器、水冷板、电脑散热器

8H70

广东斯丹德五金通信科技股份有限公司

微型精密零件、SMD精密金属将压件

8H71

综研化学(苏州)有限公司

高分子产品/聚丙烯酸脂类涂剂 ;功能性有机粉体/聚丙烯酸脂类超微粉体

8H72

东莞市科诗特技术有限公司

激光切割、打孔在内的多款激光智能加工装备等

8H75

陕西欧西克电子有限公司

生产高压陶瓷电容、5G微波介质粉料、GPS天线片

8H76

深圳倍特莱福电子科技有限公司

研磨机

8H77

武汉坤元流延科技有限公司

流延机、球磨机、脱泡机、涂布机、裁片机、冲孔机、丝印机、叠片机、温等静压机、热切机等

8H81

中山市基础科技有限公司

陶瓷和金属封装基板/DPC/AMB/IMS

8H82

昆山括通丝印器材有限公司

聚酣精密网版、钢丝精密网版、印前设备、菲林底片

8H85

福建华清电子材料科技有限公司

氮化铝、氧化铝陶瓷基板

8H89

广州诺顶智能科技有限公司

LTCC\HTCC\生瓷带全自动AOI检测设备、薄膜电路\厚膜基板全自动AOI检测设备

8H95

拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司

压力烧结炉、真空烧结炉,半导体器件用氧化炉、退火炉、LPCVD

8H96

江西昊光科技有限公司

DPC、AMB基板

8H99

杭州兴容科技有限公司

MLCC被动元器件及陶瓷材料

8H100

上海品豫有色金属科技有限公司

有色金属,稀有金属,难溶金属,贵金属,高温耐蚀材料,精密合金,发热电阻合金材料等

8H103

湖南南国设备科技有限公司

研磨机械设备、五金产品

8H104

湖南西欧新材料有限公司

特种陶瓷

8H105

璞石精密机械制造(广州)有限公司

叠层陶瓷电容送料机的厂家

8H109

都匀双成机械设备有限公司

数控雕刻机

8H110

福州赛瑞特新材料技术开发有限公司

氮化硼陶瓷

8H111

山东国瓷功能材料股份有限公司

纳米级钛酸钡及配方粉、纳米级复合氧化锆、高热稳定性氧化铝、氮化铝、蜂窝陶瓷、喷墨打印用陶瓷墨水、陶瓷球及陶瓷轴承、陶瓷基板等

8H115

中国电子科技集团公司第二研究所

切片机、打孔机、通孔填充机、叠片机、热切机、印刷机等全线设备

8H116

深圳正阳工业清洗设备有限公司

玻璃清洗,五金冲压件清洗,金属件喷淋,工业冷水机,纯水机,镀膜线,清洗线,触控玻璃清洗

8H118

深圳市宇阳科技发展有限公司

MLCC产品

8H121

SERIA CORPORATION

陶瓷印刷机

8H123

广东中科微精光子制造科技有限公司

高精密激光高效切割/打孔

8H124

太平洋亞洲系統有限公司

丝网印刷机、自动光学检测机AOI、熔炉烧结炉、机械冲孔机

8H129

昆山皇冠研磨材料有限公司

砂带、陶瓷刷、发泡刷等

8H130

焦作众成新材料有限责任公司

氧化锆粉体、陶瓷结构件、氧化锆珠

8H131

浙江京驰科技发展有限公司

流延机、脱泡桶、过滤器

8H137

深圳市飞仕达机械设备有限公司

水平线设备

8H149

安徽瑞海新材料有限公司

电子化学品、湿制程表面处理解决方案

8H149

昆山市广程机械设备有限公司

蚀刻机及陶瓷覆铜板DBC\AMB\DPC全流程湿制程设备

8H153

广东振华科技股份有限公司

真空镀膜设备

8H157

东莞产台商贸有限公司

送料机

8H158

宇环数控机床股份有限公司

数控磨床、数控研磨抛光机、活塞环专用设备、智能装备

8H159

北京宁远博纳电子科技有限责任公司

LTCC/HTCC/MLCC 机械、激光打孔机、丝网印刷机(含卷对卷)、膜厚测试仪、叠片机(含卷对卷)、等静压机、生切机、烧结炉(箱式链式)、端银机、划片机

8H163

洛阳赫特仪器设备有限公司

热分析仪器、高温电炉

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苏州铼赛智能科技有限公司

3D打印机

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深圳市海泰精工科技有限公司

高速检测机,外检机、陶瓷薄膜电极印刷检测设备

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深圳市君鑫达电子有限公司

Type-C开发商

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东莞市永佳塑胶科技有限公司

电子烟应用管材和棒材

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深圳市和力泰科技集团有限公司

陶瓷精雕机、抛光机、烟包机、装盒机

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深圳光华伟业股份有限公司

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珠海真理光学仪器有限公司

激光粒度仪/纳米粒度Zeta电位分析仪/喷雾粒度仪

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东莞市泰科工程塑料有限公司

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广东渝丰高分子材料有限公司

PPS、PEI、PEEK、PPSU、PET、PBT、高温尼龙

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东莞市柯睿电子有限公司

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深圳市鑫陶窑炉设备有限公司

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广州北晟新材料科技有限公司

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深圳市晶瓷精密科技有限公司

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深圳市禹龙通电子股份有限公司

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东莞市起拓电子科技有限公司

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深圳市德斯戈智能科技有限公司

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佛山市佛大华康科技有限公司

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深圳国冶星光电科技股份有限公司

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陶瓷金属基板、BT载板、IC载板

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